刻蚀技术
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刻蚀技术(etching technique),是在半导体工艺,按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺,离子束刻蚀机生产厂家,而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。
离子束刻蚀机
离子束加工的应用范围正在日益扩大,不断创新。
目前用于改变零件尺寸和表面物理力学性能的离子束加工工艺主要有用于从工件上作去除加工的离子刻蚀加工、用于给工件表面添加的溅射镀膜和离子镀膜加工以及用于表面改性的离子注入加工。
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离子束刻蚀
离子束刻蚀技术是近年来发展起来的一种微细加工技术,离子束刻蚀机厂家,它利用反应离子束轰击团体表面时发生的溅射效应和化学反应剥离加工工作上的几何图形。具有极高的分辨率,能够控制槽深和槽壁角度,表面应力小。反应离子束刻蚀技术已有效地用于研究和制造大规模和超大规模集成电路,声表面波器件,磁泡存储器,微波器件,离子束刻蚀机报价,集成光路,超导器件,闪烁光栅等。