磁控溅射种类
用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,多功能磁控溅射镀膜机生产厂家,加入Ar和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,多功能磁控溅射镀膜机原理,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,广东多功能磁控溅射镀膜机,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
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浅析磁控溅射镀膜仪镀膜优势
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我们知道每一种镀膜方式的不同都有不一样的差异,这处理根据镀膜的方式不同之外,还跟所镀的材料有关系,这种差别我们很难看出来,因为根据目前的镀膜行业中的一些gao端设备,比如说磁控溅射镀膜仪,都是属于比较精细的一种镀膜机械。
那么在现今的发达科技中,磁控溅射镀膜仪镀膜有哪些优势呢?下面小编来深入的分析一下:
磁控溅射镀膜设备所镀的膜稳定性好,这是因为其膜不仅厚,而且所生成的时候非常稳定,另外还根据溅射电流来控制。我们知道电流越大,这种设备的溅射率也就相对的变大,这也是磁控溅射镀膜设备非常稳定的一个因素。
另外采用磁控溅射镀膜设备来生成膜层,不管镀多少次膜,他所镀出来的膜厚度基本上是一样的,而且非常稳定。
从上述浅析中,我们不难发现磁控溅射镀膜设备的优势,其实就是在于稳定,多功能磁控溅射镀膜机报价,这也是目***些精细产品镀膜选择这种设备的原因。
磁控溅射
(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机
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